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真空チャンバー製造技術
真空チャンバー製造技術
複雑な真空チャンバーは普通、特注するものです。フェローテック(中國)は真空チャンバー製造技術を使用し、ユーザーサイドに対する専門的なデザインや製造ができます。
技術発展路線 技術的設備能力 実用新案國家特許
  • 1993

    フォローシールの試作開始。

  • 1995

    磁性流體ダンパーの生産開始。

  • 1997

    フェローシールの量産開始導入。

  • 1998

    精密真空部品を導入した生産。

  • 2000

    半導體OEMを開始。

  • 2002

    國家レベル科學プロジェクト——HIRFL-CSRプロジェクトへ參畫。

  • 2005

    単結晶製造裝置用の真空チャンバー及びスペアパーツの生産開始。


  • 2006

    電子ビーム蒸発器プロジェクト、電子ビーム溶接プロセス、多結晶爐真空空洞及び部品、フランスsidelプロジェクトを導入する。

  • 2007

    多結晶製造裝置用の真空チャンバー及びスペアパーツの生産開始。


  • 2010

    プラズマ溶接技術を導入。

  • 2011

    6件の実用新案特許を取得。


  • 2012

    光ファイバ製造裝置を導入して糸を引く爐の真空キャビティ。

  • 2014

    サファイア真空キャビティはASME圧力容器資格証を取得しました。

  • 2016

    研究(核廃棄物システム)用低溫真空室。

  • 2018

    SIC真空キャビティ,CIGS薄膜裝置用真空キャビティ及び部品。

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