炭化珪素製品の中でSVD-SiCは、半導體生産裝置の冶具や部品として急成長しています。
炭化珪素は珪素と炭素を1:1の比率で結合された一種の化合物で、????????、???????????について3番目の硬度を持っています。
Ferrotecの保有する、珪素と炭素の???をCVD工法技術で製造しており、????を例にする
と、CVD法で炭化珪素を円盤上の???????の上面に積層させ、外周部を加工後、高溫酸化で???????基材を除去します。そして各工程の後加工を実施し????が完成します。炭化珪素は航空宇宙、??????等最先端分野で必要とされる材料で多くの注目をされている材料です。
