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Ferrotec 系列：SiFusionシリコン製品と高純度シリコンパーツ

Ferrotec（中國）SiFusionとSiParts製品は半導體ウエハプロセスに最も理想的なウエハ搭載工具の提供に力を盡くしています。SiFusionパーツは金屬汚染?スリップ?ウエハ裏面の傷やパーティクルなどを減らすのみならず、重ね合わせ精度の向上にも寄與し、最先端プロセスに革新的なソリューションを提供します。主にウエハ高溫処理用として高純度の多結晶シリコンボートとペデスタル、LPCVDプロセスにインジェクターとインナーチューブを提供しています。　プラズマエッチング裝置には高純度で高精度のフォーカスリングとシャワーヘッド等を提供しています。

SiFusion製品

高純度なSiFusion高溫プロセス用製品は、半導體熱処理の主に酸化及びアニールプロセスで使用されています。高純度のシリコン材料を使用したボートは、シリコンウエハと同じ硬度、熱膨張と熱伝導係數を持ち、さらにFerroTec獨自のデザインと相まって、スリップ、ウエハ裏面の傷、金屬汚染、パーティクル等の問題を解決し、歩留の向上に寄與します。

ロングフィンガーボート

LPCVD-Poly用プロセスのためデザインされたSiFusionシリコンボートは、高純度高性能を提供し、石英とSiC製品に取って代わる最先端の製品です。SiFusionボートはパーティクルを低減する上で極めて有効のみならず、メンテナンス頻度を下げ、歩留や生産性の向上に寄與する、最先端デバイスに必要不可欠な製品です。

ショートフィンガーボート

Ferrotecはボート以外にもインジェクター、保溫筒やインナーチューブ等の重要なパーツを提供します。

橫型ボート

インジェクター

ペデスタル

バッフルウエハ

シリコンパーツ

Ferrotec（中國）の精密シリコン製品はドイツのWacker、アメリカREC半導體クラスのFloatozoneなどの材料を採用して、各種のシリコン部品に加工して、お客様の工場の生産能力利用率、生産効率及び生産量に更に多くの優位を提供します。

フォーカスリング

フォーカスリングはプラズマエッチングプロセス裝置に使われます。主要な規格は8インチと12インチですが、顧客の要求に応じて様々なサイズ、デザイン及び表面処理を施した製品を提供できます。FerroTecはシリコン材料の引き上げから最終製品の加工まで、行なえるシリコン製品の垂直統合製造會社であるため、材料コストから精密加工、洗浄及び納期の面での優位性をお客様に提供いたします。

シャワーヘッド

シャワーヘッドはプラズマエッチング裝置で使用されます。主要なサイズは8インチと12インチ用です。顧客の要求に応じて様々なサイズの穴加工も可能です。単結晶シリコンインゴットの引き上げから、高精度な機械加工、獨自の洗浄プロセスを持つFerrotecは、高純度でパーティクルフリーの高性能製品を優位性ある価格で提供します。