Ferrotec（中國(guó)）単結(jié)晶爐
安定、清潔,全自動(dòng)、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設(shè)計(jì)；溶接技術(shù)は日本のJIS規(guī)格を採(cǎi)用し、チャンバーを二重構(gòu)造の水冷式設(shè)計(jì)を行って降り、圧力変化等の異常時(shí)に於いても、リリーフ弁、及び裝置構(gòu)造により安全を確保します。各裝置には、集中管理システム用の接続コネクターを裝備している事から採(cǎi)用する事に依り集中監(jiān)視/管理を行う事が出來(lái)ます。
| 単結(jié)晶爐 |
半導(dǎo)體の製造に使用される； |
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