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ファインセラミックス

Ferrotec(中國(guó))で生産する主な??????????は、高融點(diǎn)の酸化物、炭化物、窒化物等の焼結(jié)材料で、その原材料は人工合成あるいは化學(xué)的に抽出された原材料を基に、超精密な微細(xì)粉末（サブミクロン及びナノミクロンの粉末）を造り出し、超高溫高圧の焼結(jié)をして製作されます。

ファインセラミックスの分類

Ferrotecのセラミックス製品は主に炭化珪素??????、窒化?????????、??????????、窒化珪素??????、????????????等５種類の異なる焼結(jié)材料が有り、機(jī)械特性、熱特性、電気特性について材料それぞれの優(yōu)れた特性を持っています。

炭化珪素セラミックス(SiC)

炭化珪素はダイヤモンドと炭化ホウ素に次ぐ硬度を有し、耐熱性、耐摩耗性において他のセラミックスス材料に勝る特性を発揮します。特に高溫度域(1700℃)まで強(qiáng)度低下が無く、高溫構(gòu)造材料として広く使用されています。主な用途は半導(dǎo)體製造裝置用部品やバーナーノズル等です。

窒化アルミセラミックス(ALN)

高純度窒化アルミセラミックスは卓越した熱伝導(dǎo)性、絶縁性、耐熱性、及び耐熱衝撃性を有していることから、放熱耐熱材料として用いられ、半導(dǎo)體エッチング裝置類に広く使用されています。

アルミナセラミックス(AL2O3)

高純度アルミナセラミックは絶縁性、耐摩耗性、耐酸耐アルカリ腐食性、耐熱性に優(yōu)れ強(qiáng)度も高く、半導(dǎo)體分野、醫(yī)療分野、液晶分野、新エネルギー分野で広く使用されています。我々の開発した低LLT高純度アルミナセラミックスは、とても優(yōu)れた低誘電損失特性を有しており、業(yè)界トップの技術(shù)レベルを持っています。