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フェローシール
磁性流體による真空シール伝動裝置
フェローテック- シール分野の先駆者
フェローシールはシャフトの回転を真空內(nèi)に伝達する製品です。リークや汚染がない為、クリーンな環(huán)境を求められる真空裝置に使用されています。いまや動作伝達裝置に、フェローシールは幅広く応用されています。シリコン結(jié)晶、エレクトロニックポジションインジケーター、スパッタリング、プラズマエッチング、CVD、液晶再生などのプロセスにおいて、フェローシールを使用することで、裝置の無駄停止時間削減に貢獻しています。
磁性流體による真空シール伝動裝置
半導體分野から航空分野まで、フェローシールは厳しい環(huán)境下でも高密封性を持つt保つことでを世界中に認められています。當社は多品種の真空シール、真空ロータリーシール、シールユニット及び真空環(huán)境下での動力伝達の解決策をご提供しています。
マルチシャフトフェローシール
マルチシャフトフェローシール
マルチシャフトフェローシールは、半導體プロセスにおけるロボットに幅広く応用されています。更には10-8Torrの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。
フェロードライブ
フェロードライブ
フェローテック製フェロードライブは、フェローシール、精密モータとコントローラで構(gòu)成されるモーター一體型シールです。モーター一體型により、お客様での取り付けや調(diào)整の作業(yè)の工數(shù)を削減できます。フェロードライブは、MOCVD、薄膜、光學コーティング、イオンビーム蒸著、イオンビームエッチング、PVD、スパッタリング、イオン注入等に応用されることが多いです。モータ特にサーボモータが必要なプロセスによく応用されています。
ホローシャフトフェローシール
ホローシャフトフェローシール
ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構(gòu)であり既存のシャフトに挿入することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはOリングによってシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。典型的なホローシャフトフェローシールの応用例としてはスパッタリングで、この他エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、ロータリーターゲット、そしてX線や光學系裝置があります。ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプを揃えております。
ソリッドシャフトフェローシール
ソリッドシャフトフェローシール
ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付きタイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じた機種を揃えております。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形狀は小徑の物を除き、キー溝機構(gòu)を標準品として揃えており、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付などの設計も可能です。當社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除き、高溫?高荷重あるいは、高速回転使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。
資料ダウンロード
磁性流體による真空シール伝動裝置マニュアル
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連絡先番號: 0571-86699985
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フェローシールの特性
ハーメティック
シーリング
フェローシールは、シャフトのステージ上に『磁性流體』で液狀のOリングを形成しております。これによりガス?蒸気?霧?微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(當社Heリークディテクタにて1*10-11torre/sec以下 )でテストしても検出されません。
ロングライフ
「流體Oリング」は、不活性で安定した磁性流體により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。
高信頼性
フェローシールは、シンプルな磁気回路と安定した磁性流體で構(gòu)成されています。ベアリングだけが機械摩損されるので、ベアリングの壽命がシールの壽命といわれます。
汚染無し
フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10-8torrの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。
最適トルク伝達
シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100%のトルク伝達とバックラッシュのない同相動力伝達が行えます。
低ダンパーと高速
回転能力
フェローシールは、非接觸型シールであり、また、磁性流體の粘性抵抗は低く、動作は非常になめらかです。そのため、高速回転時においても安定した能力を発揮します。
カスタマイズフェローシール
真空シールはさまざまな製品設計における技術(shù)課題へのソリューションを提供します。フェローテック(中國)はお客様のニーズを中心に、設計、製造能力を活かしてお客様の製造環(huán)境に最適なシールをご供給しています。
Matrix diagram of applications in various fields
領域別の適用のマトリクス図
真空技術(shù)関係
フェローシール

シリコン結(jié)晶;

MOCVD;

薄膜産業(yè);

イオンビーム蒸著;

イオンビームエッチング;

物理気相成長;

イオンスパッタリング;

イオン注入;

液晶再生過程;

イオン置換技術(shù);

真空蒸著裝置;

シリコン結(jié)晶;

MOCVD;

薄膜産業(yè);

イオンビーム蒸著;

イオンビームエッチング;

物理気相

プリフォーム用気相成長裝置;

真空焼結(jié);

イバーの引上げ裝置;

新エネルギーバッテリーの製造裝置;

CT;

MRI磁気共鳴畫像;

その他;

製品の生産拠點
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