FCCWS051-7402系列冷水機是由FerroTec熱電事業部自主研發的壓縮機式低溫型冷水機。這款產品能夠滿足實驗室研究、醫療行業、工業應用、電子元器件、汽車、光通訊、航天航空、半導體行業蝕刻裝置，CMP、模具溫控等多領域應用；為不同工藝步驟提供穩定、精確的溫度控制，從而確保半導體器件的質量和性能。
一、產品細節圖
二、產品特性
01 溫度范圍
能夠根據客戶的具體應用場景提供從-20℃到80℃的循環液溫度，覆蓋廣泛的工業應用需求。
02 高精度溫度控制
內置熱敏電阻（RTD，電阻溫度探測器）實時監控進出液口的循環液溫度確保在使用溫度范圍內精度高達±0.1℃。此外，機器搭載溫度補償功能，能夠保證長距離輸送情況下循環液的溫度精度，提供穩定可靠的溫度控制。
03 精確控制系統性能
內置流量計和壓力傳感器（來自東京計裝），通過旁通閥精確調節循環液流量和壓力。所有實時數據均可在機器屏幕上顯示，便于用戶監控和調整。
04 高效冷卻
實驗室測試表明：設備在輸出-20℃循環液時最高制冷量可達4kW，循環液流量可維持在25L/min，確保高效穩定的冷卻效果。
05 智能化控制程序
設備可實現PID自動調整功能，每一階溫度段都能快速達到溫度穩定狀態。
06 遠程操控
支持remote/local模式切換，客戶可以通過控制電腦直接進行遠程操控和監測，提高管理便利性。
07 適應復雜應用場景
經過優化的內部循環液管路設計，實現長距離配管和高低落差應用。在40米配管和高落差下，只需要1分鐘左右就能完成補液和空氣排氣。同時縮短了內部管路長度，在保證機器美觀的同時提升了能量使用效率。
08 節能減排
溫控器的壓縮機和水泵均為變頻設計，可根據實際使用場景動態調整功率，實現節能降耗。冷凍循環系統使用的冷媒為R410A，臭氧破壞系數為0。
09 高清潔度
出廠前經過多次精細清洗，確保管路清潔無污染，客戶可直接投入使用。機器自帶過濾器，有效防止后續使用中污染物進入客戶端，保障系統的長期穩定運行。
10 配備過濾減壓閥
設備配備了SMC的過濾減壓閥，確保在使用完成后能夠快速、徹底地排盡管路內的循環液，簡化維護流程。
11 獲得SEMI認證
設備通過了SEMI認證，符合半導體行業對冷卻設備的高標準要求。在穩定性、精準控制、清潔度、可靠性和環境適應性等方面均表現出色，尤其適用于半導體制造、激光設備、精密儀器等高端應用領域。
12 多種安全功能
設備擁有完善的安全防護結構和功能，包括過溫保護、無液保護、低液位保護、泵過載保護、低流量保護、漏液保護、傳感器異常保護、制冷系統過載保護及緊急停機保護等功能，確保用戶操作的安全性和可靠性。
13 支持產品定制
設備內部設計支持定制，便于實現客戶的實際需求，滿足不同的應用場景。