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精密石英

Ferrotec（中國）精密石英采用高品質進口原材料，經過一系列的先進加工工藝處理而成，歷經20余年的研發生產，Ferrotec可批量生產12",8"以及8"以下半導體裝置用石英制品，并具備下一代18"石英產品的研發能力。同時能夠根據客戶要求選用合適的原材料進行加工生產。

精密石英分類

Ferrotec（中國）為滿足客戶需求，可生產多種多樣的石英產品，依托精密的加工技術、焊接技術、表面處理（洗凈）技術三大核心技術優勢以及具有全球化視野的專業技術團隊支持，為客戶量身打造高品質產品。

石英管類

主要包括反應管，內管，外管，爐管，噴射管等產品；主要應用于半導體擴散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設備，對裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。

石英舟類

分為5寸，6寸，8寸，12寸各類規格舟，應用于各類表面處理工藝設備、濕法洗凈工藝中，舟類產品直接裝載硅片，并大多應用于自動上下片工藝中，所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。

石英機加工類

包括各種環、圓盤等產品，主要應用于半導體硅片刻蝕、沉積等工藝，對尺寸精度、潔凈度、外觀狀態等方面的要非常高，部分產品不允許返修，必須一次成型，所以對加工能力要求高。

石英治具類

主要有裝載盤、底座、封蓋等產品；應用于各種半導體處理工藝的輔助設備中，其精度視應用的工藝而定。

石英洗凈類

包括石英槽、石英支架等產品，主要應用于半導體濕法洗凈工藝，精度相對不高，但對外觀、潔凈度有較高的要求。

耐熱性

透光性

高純度

電氣絕緣

化學穩定

Ferrotec精密石英優點

耐熱性、透光性、高純度、電氣絕緣、化學穩定高。高精度的石英制品不僅為300nm半導體芯片制程提供可靠保障，也能滿足太陽能光伏行業在擴散制程中對低鐵、低銅的要求，被廣泛應用于半導體擴散刻蝕工藝、光纖預制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業領域。

Matrix diagram of applications in various fields

各領域的應用之矩陣圖

半導體相關

精密石英

半導體晶圓制作擴散，刻蝕等工藝；

半導體晶圓濕法洗凈工藝；

半導體硅片外延EPI等工藝；

LED制作外延MOCVD，芯片工藝；

光纖預制棒：制造過程中的爐心管、噴燈，配套緊固件；

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