Ferrotec系列:硅熔接產品與硅制精密產品
SI原材料硅錠
硅舟、噴射管、保溫桶等高溫爐具設備,主要用于半導體制程氧化、退火、CVD等工藝設備
硅環、硅電極等,應用于半導體硅片干法刻蝕工藝設備
各種圓盤、硅板、籽晶等產品,主要應用于其他半導體工藝
大直徑單晶硅棒,主要用于晶圓襯底片生產及硅質半導體設備損耗部件的制造