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國(guó)內(nèi)精密機(jī)械加工制造商

杭州大和熱磁電子有限公司真空技術(shù)事業(yè)部始于1996年，現(xiàn)有員工1439人，是國(guó)內(nèi)最大的半導(dǎo)體級(jí)鋁腔體和真空不銹鋼焊接腔體制造商之一。公司擁有百余臺(tái)精密數(shù)控機(jī)床及多條UHV洗凈生產(chǎn)線，規(guī)范的品質(zhì)管理以及一批高素質(zhì)的專業(yè)人員，專業(yè)從事磁性流體密封傳動(dòng)裝置、精密真空零部件、鋁制真空腔體、不銹鋼焊接真空腔體、真空閥、精密鈑金件等的開發(fā)和制造。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密儀器、太陽能裝備制造、科學(xué)工程裝備、醫(yī)療機(jī)械、真空鍍膜等高新技術(shù)領(lǐng)域裝備制造業(yè)。根據(jù)客戶需求，按照?qǐng)D紙加工制造、為客戶提供設(shè)計(jì)、制造、組裝等全套精密加工解決方案，以高科技含量和高品質(zhì)在國(guó)際、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上贏得一致美譽(yù)。
聯(lián)系電話：0571-86699985
郵箱：vfsales@ferrotec.com.cn
地址：杭州市濱江區(qū)濱康路777、668號(hào)

不銹鋼真空腔體

· Ferrotec真空事業(yè)部不銹鋼腔體月產(chǎn)可突破350臺(tái)以上；
· 現(xiàn)有最大體積可達(dá)5185mm長(zhǎng)*2100mm寬*2330mm高；
· 擁有美國(guó)ASME及GB鍋爐和壓力容器規(guī)范D1和D2資格認(rèn)證。

不銹鋼腔體具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、真空度處于0.1-10-5Pa之間，能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點(diǎn)。加工過程中必須要求：焊接縫在腔內(nèi)、腔內(nèi)400目拋光、腔體進(jìn)行電解拋光。
不銹鋼腔體主要由SUS304或SUS316材料氬弧焊接而成，廣泛應(yīng)用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蝕設(shè)備及低溫制冷行業(yè)。

不銹鋼真空腔體1

不銹鋼真空腔體2

鋁制真空腔體（定制）

· 鋁制腔體月產(chǎn)可突破500臺(tái)以上；
· 多條可用于半導(dǎo)體腔體清洗的UHV清洗線(Max:7060*4500*1200mm)；
· 全球知名半導(dǎo)體裝備公司Etch機(jī)臺(tái)傳輸腔體的供應(yīng)商；
· 獲得國(guó)內(nèi)外關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備廠商生產(chǎn)體系和質(zhì)量體系認(rèn)證。

主要用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種反應(yīng)、傳輸腔等。

不銹鋼真空腔體
(點(diǎn)擊定制)

Ferrotec真空事業(yè)部不銹鋼腔體月產(chǎn)可突破350臺(tái)以上；
現(xiàn)有最大體積可達(dá)5185mm長(zhǎng)*2100mm寬*2330mm高；
擁有美國(guó)ASME及GB鍋爐和壓力容器規(guī)范D1和D2資格認(rèn)證。

鋁制真空腔體
(點(diǎn)擊定制)

鋁制腔體月產(chǎn)可突破500臺(tái)以上；
多條可用于半導(dǎo)體腔體清洗的UHV清洗線(Max:7060*4500*1200mm)；
全球知名半導(dǎo)體裝備公司Etch機(jī)臺(tái)傳輸腔體的供應(yīng)商；
獲得國(guó)內(nèi)外關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備廠商生產(chǎn)體系和質(zhì)量體系認(rèn)證。

Matrix diagram of applications in various fields

各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖

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金屬加工

鋁制真空腔體