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石英坩堝

純度高且耐熱性強的石英坩堝在單晶硅的拉制過程中是必不可少的部件。石英坩堝的性能對單晶硅的成晶率有較大的影響，F(xiàn)errotec(中國)坩堝事業(yè)部一直圍繞著如何提高客戶的成晶率不斷的進行技術(shù)革新，也取得了很大的突破。為了滿足不同客戶的多樣性生產(chǎn)需求，我司研發(fā)出四大系列石英坩堝，應(yīng)對客戶不同的拉晶工藝。石英坩堝尺寸我們目前可覆蓋14英寸到32英寸，并具備按照客戶要求定制更大尺寸的技術(shù)能力。后工序加工我們歷時三年開發(fā)出一套全自動化生產(chǎn)線，確保石英坩堝品質(zhì)穩(wěn)定。

石英坩堝系列

AQM-10系列，內(nèi)壁含有透明層的天然石英坩堝；AQM-20系列，高純天然石英坩堝，在AQM-10的基礎(chǔ)之上增加高純天然砂，內(nèi)表面純度較高；AQM-30系列，合成石英坩堝，內(nèi)表面純度更高，適用于高級別硅棒的拉制；AQM-40系列，內(nèi)表面結(jié)晶化的天然石英坩堝，適應(yīng)多次加料工藝，長時間使用。

AQM-10系列

適用于：太陽能單晶硅的拉制。

AQM-20系列

適用于:半導(dǎo)體和太陽能單晶硅的拉制，主推型號：AQM-21。

AQM-30系列

適用于：半導(dǎo)體單晶硅的拉制，主推型號：AQM-31。

AQM-40系列

適用于：太陽能和半導(dǎo)體單晶硅的拉制，主推型號:AQM-42。

Ferrotec石英坩堝優(yōu)點1

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為了達到透明中少氣泡化，F(xiàn)errotec在熔融工藝以及設(shè)備性能上面不斷探索，目前每個系列的主打型號均采用了少氣泡化的工藝。

透明層中少氣泡

關(guān)于內(nèi)表面結(jié)晶化，F(xiàn)errotec研發(fā)出新型涂層工藝，AQM-40系列坩堝即使用此工藝。

內(nèi)表面結(jié)晶化

關(guān)于高純度化，F(xiàn)errotec采用高純度原材料，各工序嚴控金屬元素污染源。后工序作業(yè)引進全自動化生產(chǎn)線以及凈空房，保證生產(chǎn)過程不受雜質(zhì)污染，嚴格保證石英坩堝的純度。

內(nèi)表面高度純化

Ferrotec石英坩堝優(yōu)點

透明層中少氣泡和內(nèi)表面結(jié)晶化以及內(nèi)表面純化，這三個技術(shù)要點是Ferrotec 生產(chǎn)出高品質(zhì)石英坩堝的秘訣。透明層中少氣泡可以讓坩堝適應(yīng)長時間的拉制；內(nèi)表面結(jié)晶化，是在內(nèi)表面形成一層致密的結(jié)晶層，防止石英結(jié)晶體脫落，隔絕石英坩堝與硅液的反應(yīng)，提升單晶硅的成晶率；內(nèi)表面純化，會讓坩堝內(nèi)表面不易失透，不影響單晶硅的成晶。

Matrix diagram of applications in various fields

各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖

半導(dǎo)體相關(guān)

石英坩堝

半導(dǎo)體制造過程用；

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