在材料產(chǎn)品中，CVD-SiC是頗具成長(zhǎng)性的產(chǎn)品，該產(chǎn)品可作為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結(jié)合構(gòu)成的一種化合物，其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應(yīng)用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來(lái)進(jìn)行制造。以硅片為例，采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤(pán)狀的石墨基材表面，切削外緣后，通過(guò)高溫氧化除去石墨基材，再經(jīng)過(guò)數(shù)道后續(xù)加工，硅片就完成了。在能源等高端產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，碳化硅這種高純度材料受到越來(lái)越多的關(guān)注。
