精密洗凈技術(shù)
為應(yīng)對(duì)不斷提升的半導(dǎo)體制程要求，依托美國(guó)、日本等技術(shù)支持，成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn)，擁有國(guó)際先進(jìn)的洗凈生產(chǎn)線，努力搶占半導(dǎo)體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點(diǎn)。
技術(shù)背景
（1）Ferrotec從事精密洗凈18年，積累了大量成熟的洗凈BKM，并在持續(xù)改進(jìn)；
（2）與世界知名半導(dǎo)體設(shè)備商合作，共同開發(fā)領(lǐng)先的洗凈技術(shù)；
（3）將于2019第一季度籌建精密洗凈研發(fā)中心，增強(qiáng)失效分析和先進(jìn)制程研發(fā)能力；
洗凈環(huán)境
（1）Cu/Non-Cu通過(guò)不同生產(chǎn)線完全隔離，降低交叉污染；
（2）不同制程的清洗隔離，專用陶瓷石英清洗線，降低污染；
（3）無(wú)塵室采用垂直流方式，無(wú)塵環(huán)境更容易控制；
（4）無(wú)塵室內(nèi)采用干濕分離，降低交叉污染的風(fēng)險(xiǎn)；
設(shè)施 | 上海工廠 | 大連工廠 | 銅陵工廠 |
空壓機(jī) | 有油空壓機(jī) | 有油空壓機(jī) | 無(wú)油空壓機(jī) |
CDA/N2 | CDA | N2(99.999%) | N2(99.999%) |
純水 | 高純水（>16MΩ） | 超純水（>18MΩ） | 超純水（>18MΩ） |
無(wú)塵室 | 亂流式循環(huán)（1000級(jí)/100級(jí)） | 亂流式循環(huán)（1000級(jí)/100級(jí)） | 垂直層流式循環(huán) （100級(jí)/10級(jí)） |
生產(chǎn)環(huán)境 | 多種產(chǎn)品混合 | 專用生產(chǎn)線、環(huán)境可控 | 專用生產(chǎn)線、環(huán)境可控 |
自動(dòng)化 | 無(wú) | 引入自動(dòng)噴砂、高壓水洗等自動(dòng)化設(shè)備 | 引入自動(dòng)噴砂、高壓水洗等自動(dòng)化設(shè)備 |
精密的測(cè)量設(shè)備
量測(cè)項(xiàng)目 | 量測(cè)設(shè)備 | 新廠 |
表面Particle | 表面顆粒儀 | 0.1um |
液體particle | LPC | 0.1um |
關(guān)鍵尺寸 | CMM | 0.001mm |
孔徑 | 影像儀 | 全自動(dòng)、0.001um |
微觀形貌 | Keyence | 3000X |
微觀裂紋 | C-SAM | 可斷面掃描 |
